混合流潔凈室
混合流潔凈室中的空氣為將非單向流式及單向流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣;這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到最小,用大面積非單向流代替大面積單向流以減少初期投資和運行費用。適用于對局部區域潔凈度要求較高的潔凈室。混合流潔凈室的一般形式為室整個潔凈室為非單向流潔凈室,但需要空氣潔凈度嚴格的區域上方采用單向流流型的潔凈措施,使該區域得到滿足要求的單向流流型潔凈區,以防止周圍相對較差的空氣環境影響局部的高潔凈度。
潔凈室技術參數
類 別 |
非單向流潔凈室 |
單向流潔凈室 |
混合流潔凈室 |
水平單向流 |
垂直單向流 |
潔凈隧道 |
潔凈管道 |
局部無塵 |
潔凈度(級) |
1000~100000 |
100~1000 |
100 |
100 |
100 |
100~1000 |
換氣次數 |
15~80 |
100~300 |
300~500 |
500~1000 |
100~300 |
100~300 |
風速(m/s) |
1~3 |
0.45~0.6 |
0.25~0.4 |
0.3~0.5 |
0.25~0.5 |
0.25~0.45 |
正壓(mmwg) |
0.5~1.5 |
1.0~2.0 |
1.5~2.5 |
1.0~2.0 |
1.0~2.5 |
1.0~3.0 |
潔凈室送、回風示意圖
潔凈室送回風示意圖